抗靜電塑料在半導(dǎo)體制造中的角色
靜電在自然界中幾乎無(wú)處不在，主要由摩擦引起。大家熟悉的塑料摩擦起電實(shí)驗(yàn)，就是將塑料筆在頭發(fā)上摩擦后吸引碎紙屑的現(xiàn)象。
一、抗靜電塑料的半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用
半導(dǎo)體制造對(duì)操作的準(zhǔn)確性和潔凈度要求極高，因此在晶圓廠(chǎng)的保護(hù)措施及后續(xù)實(shí)際應(yīng)用中，抗靜電塑料發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
蘇州展格新材料有限公司專(zhuān)注于提供半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)中的襯墊，超薄厚度為0.025mm-0.075mm，并可實(shí)現(xiàn)雙面抗靜電。
產(chǎn)品特性
- 表面光亮。
- 抗靜電值穩(wěn)定。
- 無(wú)移行性、不沾黏。
- 膜片平坦、潔凈度高。
PET雙面抗靜電
- 抗靜電阻抗值：106Ω~109Ω
- PET膜：250μm~750μm
- 抗靜電阻抗值：106Ω~109Ω
1. 靜電對(duì)半導(dǎo)體的危害
- 器件靜電損傷
在芯片的整個(gè)制造過(guò)程中，尤其是集成度高或尺寸較小的芯片，對(duì)靜電非常敏感，易受到相關(guān)設(shè)備或工具產(chǎn)生的靜電損傷。 - 靜電吸附塵埃和污染物，降低成品率
半導(dǎo)體光刻工序?qū)m埃極其敏感。在曝光過(guò)程中，無(wú)論是在晶片上還是防護(hù)罩上，任何塵埃都可能導(dǎo)致芯片圖形失效。而在外延生產(chǎn)過(guò)程中，晶片表面沾染塵埃會(huì)導(dǎo)致生長(zhǎng)率偏離、不完美，以及晶粒生長(zhǎng)或晶體結(jié)構(gòu)的錯(cuò)位。
2. 抗靜電塑料的作用
抗靜電塑料的主要功能是防止半導(dǎo)體制造過(guò)程中的靜電產(chǎn)生，從而減少顆粒污染，提高晶圓的搬運(yùn)、存儲(chǔ)和轉(zhuǎn)移的可靠性。抗靜電塑料廣泛應(yīng)用于制作晶圓盒、光罩盒、晶圓梳、夾具、托盤(pán)、真空吸筆以及潔凈室的建設(shè)等。
二、抗靜電塑料的原理
1. 塑料的抗靜電方法
盡管大多數(shù)塑料是電絕緣材料，具有較高的電阻率，但因摩擦等原因，依然會(huì)帶上靜電，導(dǎo)致吸塵和放電現(xiàn)象。
當(dāng)前，主要有兩種方法用于降低塑料的電阻：表面處理和添加導(dǎo)電性物質(zhì)。最常用的方法是在內(nèi)部或表面添加抗靜電劑，以降低塑料表面電阻，賦予其抗靜電性能。
2. 抗靜電劑的作用
抗靜電劑是指能降低塑料表面電阻并防止靜電堆積的材料。它們?cè)谒芰霞庸ず褪褂眠^(guò)程中遷移至表面，形成一層抗靜電劑膜，加速靜電荷的“泄漏”。
抗靜電劑作為一種表面活性劑，包含親水基和憎水基，其作用包括：
- 在塑料表面形成平滑的抗靜電劑分子層，減少摩擦，從而降低靜電產(chǎn)生。
- 抗靜電劑分子層具有一定的導(dǎo)電性，能夠迅速使靜電“泄漏”。
- 抗靜電劑分子本身帶有電荷，能夠中和靜電，消除電荷積累。
